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          射頻電源

          直流電源

          匹配器

          遠程等離子

          備品

          RF CABLE

          AE APEX 系列
          AE PARAMOUNT 系列
          AD-TEC AX/TX/TS 系列
          AE RFG 系列
          MKS/ENI SPECTURM 系列
          MKS/ENI GHW/GMW/NOVA 系列
          KYOSAN RFK/JFK/CFK/KFK 系列
          DAIHEN RGA 系列
          MKS/ENI SUREPOWER 系列
          NEW POWER PLASMA NPG 系列
          MKS/ENI EDGE 系列
          PEARL KOGYO RP 系列
          DAIHEN NX 系列
          DAIHEN FGA/RTGA/AGA 系列